硅片回收是新能源回收利用由相關機構回收廢或過期原生多晶硅，125太陽能單晶電池片，156太陽能多晶片（整片，碎片），拋光片，頭尾料，半導體硅片，及稀有金屬硅片回收工藝流程具體介紹如下：
切片：將單晶硅棒切成具有幾何尺寸的薄硅片。此過程中產生的硅粉采用水淋，產生廢水和硅渣。
退火：雙工位熱氧化爐經氮氣吹掃后，用紅外加熱至300~500℃，硅片表面和氧氣發生反應，使硅片表面形成二氧化硅保護層。
倒角：將退火的硅片進行修整成圓弧形，防止硅片邊緣破裂及晶格缺陷產生，增加磊晶層及光阻層的平坦度。此過程中產生的硅粉采用水淋，產生廢水和硅渣。
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